三氟化硼是具有刺激性臭味的無色氣體??扇苡谟袡C溶劑。主要用作有機反應催化劑。在許多有機反應和石油制品中,作為冷凝反應的催化劑,BF3及化合物在環氧樹脂中用作固化劑??勺鳛橹苽涔饫w預制件的原料。用于半導體器件和集成電路生產的離子注入和摻雜。